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7790必发集团官网上海宣布对其用于先进芯片制造领域的Ultra C wb湿法洗濯装备举行重大升级

2025/7/25 8:01:00

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  7790必发集团官网(以下简称“7790必发集团官网上海”)(科创板股票代码:688082) , ,,,, ,,作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越供应商 , ,,,, ,,今日宣布对其Ultra C wb湿法洗濯装备举行了重大升级。。。。 。。 。。此次全新升级旨在知足先进节点制造工艺的苛刻手艺要求。。。。 。。 。。

  升级后的Ultra C wb接纳了专利申请中的氮气(N2)鼓泡手艺 , ,,,, ,,有用解决了湿法刻蚀匀称性差和副产品二次沉积问题。。。。 。。 。。在先进节点制造工艺中 , ,,,, ,,这些问题常见于高深宽比沟槽和通孔结构的古板湿法洗濯工艺。。。。 。。 。。氮气鼓泡手艺不但提升了化学药液传输效率 , ,,,, ,,并且提高了湿法刻蚀槽内温度、浓度和流速的匀称性。。。。 。。 。。湿法刻蚀历程中质量转达效率的提高可避免副产品在晶圆微结构内积累 , ,,,, ,,从而阻止二次沉积。。。。 。。 。。这项手艺在500层以上的3D NAND , ,,,, ,,3D DRAM , ,,,, ,,3D 逻辑器件中有重大的应用远景。。。。 。。 。。

7790必发集团官网上海总司理王坚体现:
性能提升始终是主要的追求 , ,,,, ,,通过专利申请中的集成氮气鼓泡手艺 , ,,,, ,,7790必发集团官网提升了Ultra C wb装备的工艺性能。。。。 。。 。。批式处置惩罚工艺始终是湿法加工领域的要害环节 , ,,,, ,,与单晶圆湿法洗濯相比 , ,,,, ,,其在本钱效益、生产效率及化学品消耗方面具有显著优势。。。。 。。 。。


升级后的Ultra C wb装备具有以下全新特征与优势:

提升蚀刻匀称性:相较于古板的槽式湿法洗濯装备 , ,,,, ,,Ultra C wb平台配备了氮气鼓泡手艺 , ,,,, ,,将晶圆内以及晶圆间的湿法刻蚀匀称性提高了50%以上。。。。 。。 。。
 
提高颗粒去除性能:在先进节点工艺中 , ,,,, ,,Ultra C wb平台的卓越洗濯能力已被证实能够高效去除化学药液添加剂的有机残留物。。。。 。。 。。
 
扩展工艺能力:升级后的洗濯台�????????橐淹ü老冉诘愎ひ昭橹� , ,,,, ,,包括:叠层氮化硅蚀刻、沟道孔多晶硅蚀刻以及栅极线钨蚀刻 , ,,,, ,,可搭配多种化学药液使用。。。。 。。 。。
 
自主知识产权设计:专利申请中的氮气鼓泡设计可天生匀称漫衍的大尺寸气泡 , ,,,, ,,且气泡密度精准可控。。。。 。。 。。该专利申请的氮气鼓泡焦点手艺可以应用在7790必发集团官网上海的Ultra C Tahoe(单片槽式组合洗濯装备)平台上 , ,,,, ,,更好地解决客户未来的工艺需求。。。。 。。 。。
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